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順利完成中國電子科技集團某所砷化鎵中試工作
來源:Admin 發(fā)布時間:2021-3-23 15:41:533759次瀏覽
半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中晶棒加工所產(chǎn)生的研磨液含砷化鎵成分,該組份呈現(xiàn)黑色細(xì)粉狀,易沉淀,經(jīng)攪拌呈懸浮狀態(tài);業(yè)主原設(shè)備工藝采用加藥絮凝后板框壓濾機處理,因砷化鎵粉體極細(xì),板框壓濾機屬于粗過濾,不能對砷化鎵實現(xiàn)有效截留,導(dǎo)致廢水含砷超標(biāo),不能達到環(huán)保排放要求。我公司通過多次實驗操作,采用納米級分離技術(shù),最終順利完成該項目中試工作。
我公司于3月17日,完成最后一次中試數(shù)據(jù)采集工作。通過對多組物料進行定量實驗,檢測清液含砷總量,最終確定檢測結(jié)果遠低于環(huán)保排放要求0.5mg/L的設(shè)計方案,該方案結(jié)果符合業(yè)主預(yù)期,獲得一致認(rèn)可肯定。